青島西海岸某晶圓廠的無塵車間內,丹佳自主研發的iClean Pro凈化空調機組正以0.001℃的溫控精度守護著芯片制造的黃金環境。機組內置的128組納米級傳感器,可實時捕捉粒徑≥0.01μm的微粒濃度,與三級過濾系統聯動作業:初效過濾器攔截5μm以上顆粒,中效層捕獲0.5μm粉塵,末端PTFE超濾膜對0.1μm微粒截留率達99.9997%。
革命性突破在于AI流體仿真系統,通過2.4萬次/秒的湍流計算,動態調節36個出風口的矢量角度,使潔凈室氣流均勻度達到98.5%。某12英寸硅片項目數據顯示,該機組在黃海潮濕季(RH≥85%)仍將車間露點溫度穩定在-40℃,濕度波動≤±1.5%,良品率提升2.3%。更搭載自愈型變頻驅動技術,在電壓波動±15%時仍保持風機轉速誤差<0.2%,年故障停機時間縮短至4分鐘。
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